MEMS系統(tǒng)主要由（ ）部件組成。
A． 微傳感器、微執(zhí)行器、通信接口和電源
B． 微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通信接口和電源
C． 微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通信接口和電源、存儲(chǔ)
D． 微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通信接口和電源、操作系統(tǒng)和應(yīng)用程序
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